在连接管路中，用户可在真空泵进气口上方安装阀门及真空计，随时可检查真空泵的极限压力。按电动机标牌规定连接电源，并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。真空泵通电试运转时，须取下电机皮带，确认真空泵转向符合规定方向方可投入使用，以防真空泵反转喷油。（转向按防护罩指示方向）对于有冷却水的真空泵，按规定接通冷却水。如真空泵口安装电磁阀时，阀与真空泵应同时动作。当真空泵排出气体影响工作环境时，可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。
分子泵：分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。
多级离心真空泵出水管口在出水池正常水位以上 若是出水口在出水池正常水位以上，虽添加了水真空泵扬程，但削减了流量。如因地势条件所限，出水口有必要高出出水池水位，则应在管口加装弯头和短管，使水管变成虹吸式，下降出水口高度。
设底阀时，进水管下一节不是笔直的 如这样装置，阀门不能自行封闭，形成漏水。正确装置办法是：装有底阀的进水管，下一节佳是笔直的。如因地势条件约束不能笔直装置，则水管轴线与水平面夹角应在60°以上。
冷凝水的影响: 冷凝水在多级真空泵中具有无足轻重的位置, 为了包管冷凝水可以将蒸汽充沛冷凝, 真空泵排出压力中的水蒸汽分压有必要高于其所对应的饱满蒸汽压, 所以冷凝水的温度也要低于该压力下的饱满温度, 才干包管泵体的正常作业。别的, 冷凝器的冷凝功率也是十分要害的, 冷凝器的冷凝作用差, 会使蒸汽因来不及冷凝而直接进入下一级泵, 加大后级泵的负荷, 影响泵的抽气才能。为此,冷凝水的进口温度, 流量及冷凝器的运用情况对泵的功能均有很大的影响。
以上信息由专业从事双级旋片式真空泵价格的陕西屹达于2025/2/17 12:23:21发布
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